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第五代SFJ-231型氦質譜檢漏儀


SFJ-231型氦質譜檢漏儀


性能特點


  • 德國原裝分子泵,雙銥帶離子源
  • 獨特的氣路設計,較低的顆粒物干擾
  • 自保護功能,防止本底被污染
  • 自動抽空壓力和時間設定,檢漏效率高
  • 帶故障提示和報警功能
  • 可選無線遙控功能

主要技術指標

?

最小可檢漏率(真空模式)

Minimum detectable leak

rate for He (vacuum leak)

5×10-13 Pa·m3/s

?

最小可檢漏率(吸槍模式)

Minimum detectable leak

rate for He (sniffing leak)

1×10-8 Pa ·m 3 /s

檢漏口壓力

Inlet test pressure

Gross:1500Pa,Ultra:40pa

檢漏口規格

Inlet port

DN 25 ISO-KF

啟動時間

Warm-up time (20°C)

≤2min

接口

Interface

RS-232/485 USBx2

輸入/輸出接口

I/O interfaces

Digital and Analog I/O,Relays

尺寸

Dimensions

645 x 678 x 965 mm

重量

Weight

75kg

電壓

Universal voltage

220V±10%, 50 /60 Hz

最大功率

Maximum power

1000 W

語言

Selectable languages

Chinese,English

溫度

Operating temperature

10– 40 °C



SFJ-231D型半導體專用氦質譜檢漏儀


性能特點

  • 德國原裝分子泵,干式真空泵,雙銥帶離子源
  • 獨特的氣路設計,較低的顆粒物干擾
  • 自保護功能,防止本底被污染
  • 自動抽空壓力和時間設定,檢漏效率高
  • 移動式推車,較低的移動噪音
  • 帶故障提示和報警功能
  • 可選無線遙控功能

主要技術指標

?

最小可檢漏率(真空模式)

Minimum detectable leak

rate for He (vacuum leak)

5×10-13 Pa·m3/s

?

最小可檢漏率(吸槍模式)

Minimum detectable leak

rate for He (sniffing leak)

1×10-8 Pa ·m 3 /s

檢漏口壓力

Inlet test pressure

Gross:1500Pa;Fine:200Pa;Ultra:40pa

粗抽能力

Roughing capacity

10 m 3 /h

檢漏口規格

Inlet port

DN 25 ISO-KF

啟動時間

Warm-up time (20°C)

≤2min

接口

Interface

RS-232/485 USBx2

輸入/輸出接口

I/O interfaces

Digital and Analog I/O,Relays

尺寸

Dimensions

645 x 678 x 965 mm

重量

Weight

75kg

電壓

Universal voltage

220V±10%, 50Hz

最大功率

Maximum power

1000 W

語言

Selectable languages

Chinese,English

溫度

Operating temperature

10– 40 °C


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